ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000: Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Терминология ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000: Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха оригинал документа:

2.3.1 U-дескриптор ( U-descriptor) : Определенная или заданная концентрация частиц в 1 м³ воздуха, включая ультрамелкие частицы.

Примечание - U-дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, которым характеризуют чистое помещение или чистую зону). U-дескрилторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.

Определения термина из разных документов: U-дескриптор ( U-descriptor)

2.2.7 волокно ( fibre) : Частица вытянутой формы, длина которой превышает ширину в 10 или более раз.

Определения термина из разных документов: волокно ( fibre)

2.5.1 Заказчик ( customer) : Организация или ее представитель, ответственный за точное определение требований к чистому помещению или чистой зоне.

Определения термина из разных документов: Заказчик ( customer)

2.5.2 Исполнитель ( supplier) : Организация, выполняющая установленные требования к чистому помещению или чистой зоне.

Определения термина из разных документов: Исполнитель ( supplier)

2.1.4 класс чистоты ( classification) : Уровень чистоты по взвешенным в воздухе частицам, применимый к чистому помещению или чистой зоне, выраженный в терминах «класс N ИСО», который определяет максимально допустимые концентрации (в частицах на кубометр воздуха) для рассматриваемых размеров частиц.

Примечания

1 Концентрация определяется по 3.2 (уравнение 1).

2 В соответствии с настоящим стандартом классы чистоты ограничены пределами от класса 1 ИСО до класса 9 ИСО.

3 Рассматриваемые размеры частиц (нижние пороговые значения), применимые для классификации в соответствии с настоящим стандартом, ограничены диапазоном 0,1 - 5,0 мкм. Для пороговых размеров частиц, находящихся вне диапазона, охватываемого классификацией, чистота воздуха может быть описана и определена (но не классифицирована) при помощи U- или М-дескрипторов (см. 2.3.1 или 2.3.2).

4 Промежуточные классификационные числа ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением 0,1; т.е. ряд промежуточных классов ИСО расширяется от класса 1,1 ИСО до класса 8,9 ИСО.

5 Класс чистоты может быть задан или достигнут в любом из трех состояний чистых помещений (см. 2.4).

Определения термина из разных документов: класс чистоты ( classification)

2.2.3 концентрация частиц ( particle concentration): Число отдельных частиц в единице объема воздуха.

Определения термина из разных документов: концентрация частиц ( particle concentration)

2.3.2 М-дескриптор ( M-descriptor) : Определенная или заданная концентрация макрочастиц в 1 м³ воздуха, выраженная через эквивалентный диаметр, который характеризует используемый метод измерения.

Примечание - М-дескриптор может рассматриваться как верхний предел средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, которым характеризуют чистое помещение или чистую зону). М-дескрипторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.

Определения термина из разных документов: М-дескриптор ( M-descriptor)

2.2.6 макрочастица ( macroparticle) : Частица с эквивалентным диаметром более 5 мкм.

Определения термина из разных документов: макрочастица ( macroparticle)

2.4.2 оснащенное ( at-rest) : Состояние, в котором система чистых помещений укомплектована оборудованием и отлажена в соответствии с соглашением между Заказчиком и Исполнителем, но персонал отсутствует.

Определения термина из разных документов: оснащенное ( at-rest)

2.4.1 построенное ( as-built) : Состояние, в котором система чистых помещений завершена, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует производственное оборудование, материалы и персонал.

Определения термина из разных документов: построенное ( as-built)

2.2.2 размер частиц ( particle size) : Диаметр сферы, которая дает отклик в контролирующем приборе, равный отклику от оцениваемой частицы.

Примечание - Для дискретного счета частиц приборами, работающими на принципе рассеяния света, используется эквивалентный оптический диаметр.

Определения термина из разных документов: размер частиц ( particle size)

2.2.4 распределение частиц по размерам ( particle size distribution) : Распределение концентрации частиц как функция их размеров.

Определения термина из разных документов: распределение частиц по размерам ( particle size distribution)

2.1.3 система чистого помещения ( installation) : Чистое помещение или одна или несколько чистых зон со всеми относящимися к ним структурами, системами подготовки воздуха, обслуживания и утилизации.

Определения термина из разных документов: система чистого помещения ( installation)

2.2.5 ультрамелкая частица ( ultrafine particle) : Частица с эквивалентным диаметром менее 0,1 мкм.

Определения термина из разных документов: ультрамелкая частица ( ultrafine particle)

2.2.1 частица ( particle) : Твердый или жидкий объект, который в целях классификации чистоты воздуха характеризуется совокупным распределением, основанным на пороговом размере (нижнем пределе) от 0,1 - 5,0 мкм.

Определения термина из разных документов: частица ( particle)

2.1.2 чистая зона ( clean zone) : Определенное пространство, в котором контролируется концентрация взвешенных в воздухе частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри зоны, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление.

Примечание - Чистая зона может быть открытой или отгороженной и находиться как внутри, так и вне чистого помещения.

Определения термина из разных документов: чистая зона ( clean zone)

2.1.1 чистое помещение ( cleanroom) : Помещение, в котором контролируется концентрация взвешенных в воздухе частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление.

Определения термина из разных документов: чистое помещение ( cleanroom)

2.4.3 эксплуатируемое ( operational) : Состояние, в котором система чистых помещений функционирует установленным образом, с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией.

Определения термина из разных документов: эксплуатируемое ( operational)